1. AMC- Asosiasi Teknologi dan Bahan Semikonduktor Internasional SEMI
Sebagai anggota penting di bidang filter, filter kimia memainkan peran penting karena profesionalisme dan kekhasannya. Fitur utamanya meliputi: filtrasi efisiensi tinggi, ketahanan korosi suhu tinggi, berbagai bahan filter untuk dipilih, pemasangan dan pemeliharaan yang mudah, dan kecerdasan, dll.
Filter kimia adalah asisten terpenting dalam solusi untuk mengendalikan polutan gas. AMC selanjutnya dapat diklasifikasikan menjadi empat jenis: MA, MB, MC dan MD. MA adalah zat korosif, dan karakteristik reaksi kimianya adalah akseptor elektron. Biasanya termasuk asam fluorida, gas klorin, asam sulfat dan zat lain yang keluar selama proses fotolitografi dan etsa.
MB adalah zat korosif, dan karakteristik reaksi kimianya adalah donor elektron, termasuk NH3 dan amina. MC umumnya mengacu pada senyawa organik yang memiliki titik didih lebih besar dari 150°C di bawah tekanan normal dan rentan terhadap kondensasi ke permukaan benda. MD mengacu pada unsur kimia yang dapat mengubah konduktivitas listrik bahan semikonduktor.
2、Lokasi pemasangan filter kimia perlu mempertimbangkan skenario aplikasi tertentu. Pertimbangan utama meliputi: sumber polutan, efisiensi pengolahan dan desain sistem, dll. Mereka biasanya dipasang dalam sistem seperti kotak AC udara segar, kotak AC balik yang bersirkulasi, unit filter kipas, dan ujung lingkungan mikro.
3、 Kontrol AMC dapat dicapai dengan menggunakan sistem filtrasi udara fase gas, yang menggunakan satu atau lebih media pengeringan dan pemurnian. Pemilihan bahan filter kimia dalam sistem ini ditandai dengan keragaman dan kecerdasan, memberikan opsi yang lebih tepat sasaran kepada pengguna.
4、Filter kimia banyak digunakan dalam proses produksi industri seperti pelapisan listrik, manufaktur semikonduktor, perawatan medis, laboratorium, dan perawatan perlindungan lingkungan. Mereka memastikan keamanan lingkungan produksi dengan menyerap dan menetralkan gas asam/basa dan gas limbah organik.
