Mikroelektronika Udara Bersih Solusi Total

Mikroelektronika Udara Bersih Solusi Total

 
Overall microelectronics solution

Solusi mikroelektronika secara keseluruhan

Dengan keberhasilan transformasi China dari "raksasa manufaktur" menjadi "raksasa manufaktur berkualitas", sejumlah besar perusahaan manufaktur teknologi tinggi terkenal telah muncul di negara ini, dan banyak proyek teknologi tinggi juga telah dilaksanakan dan dilakukan di banyak tempat di seluruh negeri.

Belum lama ini, pabrik wafer 12 inci yang baru saja dibangun di China akan fokus pada penelitian dan pengembangan teknologi proses 19nm untuk produksi DRAM (Dynamic Random Access Memory). Setelah proyek mulai beroperasi, kapasitas produksi bulanan maksimum akan mencapai 125.000 wafer, secara efektif mengisi kesenjangan dalam industri manufaktur DRAM kelas atas China dan menempati tempat di antara produsen DRAM global.

 

 

 
Safeguard the "Chinese chip"

Lindungi "chip Cina"

Komisioning proyek ini juga akan mendorong pengembangan komprehensif seluruh wilayah Delta Sungai Mutiara, termasuk peralatan, material, terminal, dan aspek lainnya. Dapat dikatakan bahwa commissioning pabrik fabrikasi wafer ini akan mempercepat laju transformasi dan peningkatan industri di Hefei.

Dilaporkan bahwa pada tahun 2025, China akan mengoperasikan sekitar 25 proyek wafer 12 inci, mematahkan sistem monopoli industri perusahaan asing sekaligus.

 
 
 
 
 
Problems and difficulties

Masalah dan kesulitan

Beberapa kesulitan juga ditemui selama pembangunan pabrik dan pengadaan peralatan. Dari perspektif teknis, ketika menggunakan teknologi proses 19nm untuk menghasilkan DRAM, area litografi cahaya kuning di bawah proses ini sangat sensitif terhadap gas AMC. Bahkan sedikit penyimpangan dalam kualitas udara bersih di area kerja akan secara langsung mempengaruhi tingkat hasil produksi akhir. Oleh karena itu, Nilai konsentrasi lingkungan proses AMC perlu dikontrol secara ketat di seluruh proses produksi.

 
 
 
 
Final solution

Solusi akhir

Sebagai salah satu pemimpin global dalam solusi udara bersih, RZJ telah berkomitmen untuk mengembangkan solusi filtrasi yang sangat efisien dan hemat energi untuk industri mikroelektronika selama hampir satu abad, termasuk filtrasi partikulat dan AMC. Rangkaian lengkap produknya mencakup filter udara efisiensi kasar, menengah dan tinggi, filter kimia, filter rumah tangga, tudung aliran laminar, dan peralatan pemurnian lainnya. Menanggapi tuntutan proses kristalisasi tingkat tinggi dan kompleks ini, AAF mengadopsi solusi pengolahan gas kimia pemuatan FFU. Dua filter kimia ditumpangkan di atas FFU, dan tes pengambilan sampel AMC di tempat disediakan untuk mengekstrak dan mengatur data kualitas udara di lingkungan yang sebenarnya dengan cepat dan akurat, dan berdasarkan ini, solusi yang masuk akal dirumuskan.

 

 

 
Strict quality control and a complete testing system

Kontrol kualitas yang ketat dan sistem pengujian yang lengkap

Selama ini, RZJ telah mengambil tanggung jawabnya untuk melindungi lingkungan, mengurangi risiko perusahaan, dan mengurangi biaya pemurnian udara. Sampai batas tertentu, mengejar keunggulan dalam produknya juga berasal dari praktiknya sendiri. AAF sendiri memiliki cleanroom PTFE tingkat 10.000 tingkat kebersihan tinggi, cleanroom filter efisiensi tinggi, kamar bersih FFU, dan lini produksi filter industri dan komersial. RZJ dilengkapi dengan fasilitas canggih. Produksi dilakukan dengan proses produksi yang terstandarisasi dan standar kualitas yang ketat.

Selain itu, RZJ memiliki sistem pengujian yang lengkap. Dari filter efisiensi kasar, sedang dan tinggi hingga filter efisiensi tinggi dan efisiensi ultra-tinggi, serta peralatan filtrasi, RZJ melakukan uji kinerja menyeluruh pada produk sesuai dengan standar pengujian lanjutan industri.

 

 

 

Dari perspektif produksi, proses pembuatan produk mikroelektronik kompleks dan banyak, dan banyak proses utama yang perlu dilakukan di lingkungan bebas debu dengan suhu, kelembaban, dan kebersihan ultra konstan. Peralatan produksi berukuran besar dan menengah satu bagian akan melepaskan partikel konsentrasi tinggi dan zat kimia, yang akan menyebabkan penurunan hasil produk yang diproduksi dan membawa bahaya keselamatan lainnya pada saat yang bersamaan. Oleh karena itu, industri mikroelektronika memiliki persyaratan dan standar teknis yang sangat tinggi untuk desain dan efek kebersihan ruang bersih industri selama proses produksi.

Sistem klasifikasi SEMI F21-1102 untuk empat jenis polutan gas

Klasifikasi AMC

Tingkat konsentrasi

 

1pptM

10pptM

100pptM

1000pptM

10000pptM

Asam

MA-1

MA-10

MA-100

MA-1000

MA-100

Basa

MB-1

MB-10

MB-100

MB-1000

MB-10000

Kondensat

MC-1

MC-10

MC-100

MC-1000

MC-10000

Dopan

MD-1

MD-10

MD-100

MD-1000

MD-10000

Satuan konsentrasi adalah pptM (bagian per triliun Modal) dari 10-12 triliun mol


Mitra:

Hubei Suizhou Polysilicon Technology Co., LTD

 

Shenzhen SeG Samsung Co., LTD

 

Xinli Semikonduktor Co., LTD

 

Grup Teknologi Foxconn

 

Guizhou Yunfeng Farmasi Co., LTD

 

Shenzhen Sanlipu Optoelektronik Teknologi Co, LTD

 

 

Guangzhou Jintian Ruilin Peralatan Pemurnian Manufaktur Co, LTD


 

 

Dongguan Chuanyue Packaging Co, LTD